SEMI Chiller溫控器zonglen溫控器ZU35主要用于半導體(FAB)和FPD顯示制程中工藝設備的溫度準確控制,如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設備的控溫(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統組成的工藝過程中的溫控設備。
特點
| 參考價 | ¥ 8888 |
| 訂貨量 | ≥1件 |
成都中冷低溫科技有限公司總部位于中國成都,是一家專注于泛半導體溫度環(huán)境解決方案的創(chuàng)新型高科技公司,中冷低溫主要生產高低溫沖擊氣流儀(ThermoTST熱流儀)、接觸式冷熱沖擊機(ATC/TCU)、高低溫卡盤(ThermoChuck)、高低溫測試臺、高壓加速老化試驗機(PCT)、非飽和高壓加速老化試驗機(HAST) 、環(huán)境應力篩選系統、高低溫循環(huán)箱、高低溫沖擊箱、氣體制冷機、氣體溫控器、超低溫制冷機。為晶圓、芯片、5G通訊、光模塊、集成電路、航空航天、天文探測、電池包、氫能源等領域的可靠性測試提供整套溫度環(huán)境解決方案和測試服務。中冷低溫設備已出口俄羅斯、歐盟、泰國、越南、新加坡、馬來西亞等。在天津、上海、蘇州、深圳、武漢、重慶、西安設有辦事處。
SEMI Chiller溫控器zonglen溫控器ZU35主要用于半導體(FAB)和FPD顯示制程中工藝設備的溫度準確控制,如刻蝕/薄膜/勻膠/顯影等工藝設備的控溫(例如LAM, AMAT, TEL, NAURA,Naura, Aixtron, Veeco, AMEC等)。 SEMI Chiller溫控器主要由液泵、換熱器、儲液罐、制冷壓縮機及控制系統組成的工藝過程中的溫控設備。
特點
很好的控制技術,模糊控制,前饋控制,確保設備有較高的溫控精度和良好的溫度跟隨性
好的節(jié)能技術,Hot-Gas,變頻技術等大幅降低了設備能耗
好的密封和檢漏技術,很大的減少了循環(huán)液的泄露和揮發(fā)情況
超低溫制冷技術,單/多級復疊技術,多層復合保溫技術
支持用戶多通道/多類型定制需求
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